采用Sn中介层的覆Al薄膜硅片键合技术研究

研究采用Sn作为中间层键合覆盖Al薄膜的硅片。相对于Al-Al直接热压键合,该系统能提供低温、低压、快速的圆片级键合方案。采用直径为100 mm硅片,溅射一层500 nm厚度的Al层后,在N2气氛下进行450°C,30分钟退火,采用Ar等离子体清洗后,溅射一层500 nm厚度的Sn层。将硅片金属面紧贴在一起放入键合机中键合,在真空中进行。键合时间为3分钟条件下,得到平均剪切强度为9.9 MPa,随着键合时间增加,剪切强度显著降低。     

机床主轴跨距变化对其静、动态刚度的影响

为了合理设计机床主轴的结构,分析研究机床主轴的结构参数对其动态持性的影响,是非常重要的问题。其中机床主轴跨距变化,对其静态刚度的影响,早在五十年代中,西德机床设计工作者R.Piekenbrink利用材料力学理论,进行了分析计算。随着机床动态特性的研究和有限元、电子计算机的应用,大型结构的动态分析程序,已经应用到实际问题中。     

国内二语写作中的反馈研究综述

近年来,有关二语写作教学的反馈对学习者的影响一直是研究的热点。反馈一直被认为是二语写作教学的一个重要组成部分,在鼓励和巩固语言学习中起着关键的作用,其重要性已得到二语研究者的广泛认同。本文以文献研究为线索,综述了国内主要核心期刊上有关二语写作中反馈研究现状,总结了研究成果,指出了其中的一些问题,并对今后研究的发展方向提出了自己的一点建议。