高亮度小型液态金属Ga离子源

本文介绍高亮度小型液态金属Ga离子源。本源在5.5kV的引出电压下总发射电流可达250μA,发射阈值电压低至1kV(发射体针尖到引出极膜孔中心的距离固定在2mm左右)。在1.33×10~(-6)Pa的真空度下测量源的发射特性,并对Taylor锥发射模型作了初步探讨。通过对发射体基底尖端进行特殊的铬合处理,可有效地增大发射电流,提高发射稳定性。整个系统封装在直径为55mm的玻壳内;发射体尖端与引出极间距离采用一特殊柄在0.5～5mm范围内在管外调节。