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本文介绍应用离子束刻蚀技术减薄石英晶片,把石英晶体谐振器的基频提高到60～300MH_z。给出了基频及其泛音的动态参数。谐振器具有较小的等效电阻,一般为15～50欧姆(基频),较高的Q值,一般为20000～70000(基频),较好的频谱特性,正常的频率温度特性和良好的机械强度。 相似文献
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