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微机械（MEMS）与微细加工技术 总被引：4，自引：0，他引：4
首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述，在此基础上，着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主，并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势。 相似文献
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首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平.指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势. 相似文献
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通过对ＴＨ６３６３加工中心伺服进给系统的仿真研究，发现机械装置的等效转动惯量对系统的过渡过程动特性影响很大，并找到了它的影响规律，提出了在伺服系统设计时负载与伺服电机惯量匹配问题，对所研究的加工中心，Ｊｍ：ＪＬ有最佳取值范围；发现了伺服电机的转矩系数Ｋｔ对系统动特性有重要影响，并研究了其影响规律，找到了Ｋｔ的合理取植范围；利用仿真研究方法可以在设计阶段预知伺服系统的动态特性，仿真研究结果可为工程设计提供理论参考依据。 相似文献
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