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本文通过 Sol- gel法在 Al2 O3基片上制得了 Ti O2 纳米薄膜 ,经 XRD分析 ,薄膜具有多晶结构 ,其主晶相为金红石 .本实验还对 Ti O2 薄膜的氧敏特性进行了研究 ,实验结果表明 ,Ti O2 纳米薄膜在 80 0℃下具有良好的氧敏特性和重复性 ,并且具有较快的响应速度 相似文献
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本文通过Sol-gel法在Al2O3基片上制得了TiO2纳米薄膜，经XRD分析，薄膜具有多晶结构，其主晶相为金红石，本实验还对TiO2薄膜的氧敏特性进行了研究，实验结果表明，TiO2纳米薄膜在800度下具有良好的氧敏特性和重复性，并且具有较快的响应速度。 相似文献
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