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具有隔离结构的横向接触式体硅微机械继电器 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了一种横向接触式体硅微机械继电器。这种继电器采用硅/玻璃键合及深刻蚀(DRIE)工艺加工,并利用多晶硅填槽形成隔离结构。继电器采用静电激励,横向驱动。分析了继电器静电激励的阈值电压,介绍了一种在有限元仿真工具ANSYSTM下用降解模型(ROM)分析阈值电压的方法,并对仿真结果和实验结果进行了比较和讨论。 相似文献
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容积法是计算油气地质储量的基本方法之一。但是,容积法计算油气地质储量的参数选值,习惯用大平均值、大面积计算,这不仅精度难保证,而且不能表达非均质性储层特性;不能适应当代测井新技术的发展;也不能满足当前油藏工程对地质参数高精度的要求。 通过对非均质油气藏地质特点的研究,我们提出用单元体积法计算油气地质储量,并用其结果编制油气储量分布图。计算结果不仅可得到一个总的储量数据,而且可以表示出油气藏范围内油气地质储量的分布情况,这在油气层非均质性研究、油气工业勘探、开发布井等方面,都可以发挥很好的指导作用。 笔者等用这种计算方法和表示法,实际计算了某油气田凝析气顶的油气储量,其结果得到了有关方面的好评。 相似文献
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