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一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针卓永模牟旭东杨甬英（浙江大学光科系杭州３１００２８）本文论述一种微型干涉光探针，它可用于扫描力显微镜中探测微探针的纵向偏摆，进而精确测出样品表面三维超精细结构。论文从理论分析及实验研究中首次发现扫描力显微镜中的氮化... 相似文献
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