用于均匀照明的纯位相元件多元化分析

论文通过理论分析探讨了用于均匀照明问题的纯位相元件的通用性问题,揭示了纯位相元件的设计与实际应用系统各类参数指标的依赖关系,并且还研究了刻蚀工艺中的正负片问题,它对纯相位元件的工艺制作具有独特的指导意义。