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1.
1967年Dyment等人利用Ⅱα型天然金刚石制备出了用于GaAs半导体激光二极管散热用的金刚石热沉,并用该热沉首次实现了这一激光二极管的室温连续工作。但是由于受到制备成本的限制,利用天然及高压合成金刚石制备的热沉一直没有得到推广应用。 本文用灯丝热解CVD方法,合成了厚度为100μm的金刚石多晶薄膜,通过真空蒸发
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2.
本文采用热解化学气相沉积方法,使用自制的实验装置在硅单晶和石英玻璃衬底上合成出金刚石膜。实验装置如图1所示。反应器用普通石英玻璃管制做,衬底加热采
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