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本文对金球C—V技术用文献中所介绍的(d~2V_(FB))/(dx~2)测量Sio_2中电荷分布时的适用范围进行了研究.在我们的实验中指出(1)当Sio_2厚度在200—300A范围时,测量数据处理要特别慎重(2)当Sio_2厚度小于750A时,只要V_(FB)仍是负值,V_(FB)的测量值是不可靠的。 相似文献
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