松节油作为液相钝化介质的应用研究

在高压半导体器件台面钝化的实验中,采用松节油作为液相钝化介质,结果表明,钝化效果显著。而且松节油用作液相钝化介质,具有无毒、安全、经济的优点,值得推广应用。     

一种制造快速晶闸管的P型双质掺杂技术

阐述了受主杂质在Ｓｉ中的扩散行为，快速晶闸管制造中的Ｐ型区掺杂工艺设计原理，掺杂方法和杂质浓度分布，并给出了该项技术在工艺生产线上应用结果。通过实验和应用表明，该项技术具有先进性和可行性，为制造快速晶闸管开辟了一条新工艺途径。     

镓铝扩散产生表面层缺陷的机理及处理措施

针对铝乳胶源涂布与气相Ｃａ杂质相结合的受主双质掺杂技术，分析了产生表面层缺陷的原因，并提出了减少缺陷的措施。     

镓扩散工艺在高反压管生产中的应用研究

本文报导了用镓代替硼铝在高反压管中的应用。产品合格率,优品率均明显高于现行生产工艺。主要电参数已达日本BU208管的水平。实验表明,该工艺操作简便,抗沾污能力强,一是研制和生产高压器件的一条新的工艺途径。     

镓扩散石英管壁沉积物分析与研究

本文介绍镓扩散工艺石英管内壁沉积物形成原因,沉积物的光谱分析和电子探针分析,沉积物对扩散的影响和采取的措施。     

气相扩镓的化学系统及工艺特征

阐述了气相扩镓的化学系统和工艺特征，分析了扩镓表面波度与镓杂质蒸气压的关系．在确定的开管装置中，以氢气作为固态Ｇａ＿２Ｏ＿３源的反应和输运气体，凭借准确控制扩散条件，获得了良好的扩散均匀性、重复性和一致性．