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Y升温注入Al形成Y-Al合金研究 总被引:2,自引:2,他引:0
利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件,X射线衍射分析表明注入层有Al3Y和Al2O3出现,从背散射分析可以发现,Y原子有着明显的增强扩散和外扩散效应,Y离子的深度分布已达620nm,远大于LSS理论的预计值,注入层钇铝原子比可达到17%-24%,连续铝合金层已经形成。 相似文献
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用大束流密度的钴金属离子注入硅能够直接合成性能良好的薄层硅化物. 束流密度为0.25~1.25 A/m2, 注入量为5 × 1017 cm-2. 用透射电子显微镜(TEM)和电子衍射(XRD)分析了注入层结构. 结果表明随束流密度的增加, 硅化钴相生长, 薄层硅化物的方块电阻RS明显下降. 当束流密度为0.75 A/m2时, RS明显地下降, 说明连续的硅化物已经形成. 当束流密度为1.25 A/m2时, 该值达到最小值3.1 W. XRD分析表明, 注入层中形成了3种硅化钴Co2Si, CoSi和CoSi2. 经过退火后, RS进一步地下降, RS最小可降至2.3 W, 说明硅化钴薄层质量得到了进一步的改善. 大束流密度注入和退火后, 硅化钴相进一步生长, Co2Si相消失. TEM对注入样品横截面观察表明, 连续硅化物层厚度为90~133 nm. 最优的钴注入量和束流密度分别为5 × 1017 cm-2和0.50 mA/cm2. 最佳退火温度和退火时间分别为900℃和10 s. 高温退火(1200℃)仍然具有很低的薄层电阻, 这充分说明硅化钴具有很好的热稳定性. 用离子注入Co所形成的硅化钴制备了微波功率器件Ohm接触电极, 当工作频率为590~610 MHz, 输出功率为18~20 W时, 同常规工艺相比, 发射极接触电阻下降到0.13~0.2倍, 结果器件的噪声明显地下降, 器件质量有了明显的提高. 相似文献
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论图书馆学学风建设 总被引:2,自引:0,他引:2
钱卫东 《科技情报开发与经济》2004,14(11):79-80
简单归纳了目前图书馆学研究中存在的主要问题,分析了学术风气对学术研究的影响,重点探讨了搞好图书馆学学风建设的有关问题。 相似文献
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