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教育与普及
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1999年
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1
1.
用作金刚石微电子和微机械器件的若干关键技术
总被引:3,自引:0,他引:3
王渭源
王效东
毛敏耀
杨艺榕
任琮欣
解健芳
《科学通报》
1999,44(4):355-360
针对金刚石薄膜用于微电子器件和微机械器件的共性关键技术问题,总结了近年来这些方面的研究成果,包括:用交流-直流负偏压微波等离子化学气相沉积(MPCVD)在绝缘SiO2衬底上实现金刚石高密度成核,高成核选择比的金刚石选择生长技术,铝掩模氧反应离子束刻蚀金刚石薄膜的图形化技术,以及与金刚石生长工艺兼容的牺牲层、绝缘层技术等。
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