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美国劳伦斯·利弗莫尔国立实验室的光学工程师发明一种激光测量系统,它使金属或玻璃超光滑表面上微缺陷的检测由原来几小时缩短到几分钟,能测量表面上仅达1埃的凹凸变化,比其他测量技术的灵敏度大约高10倍。这个系统称为光学外差式表面靠模,它采用两种波长只有微小差 相似文献
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