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碳氟等离子体聚合物结构的ESCA表征,一般运用电荷电位模型,经过量子化学计算,对ESCA谱的C_(15)峰作特定官能基团的归属,此方法运算复杂。Ginnard运用Pauling方法尝试在含有不同取代基的碳原子电负性和该原子1s电子结合能位移之间建立线性关系,对 相似文献
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在辉光放电中碳氟化合物存在聚合(polymerization)与刻蚀(ablation)两种相反的过程,两者竞争结果对聚合膜的淀积速率、结构和性能均有影响。一般认为,在辉光放电中,全氟烷烃以刻蚀为主;全氟烯烃以聚合为主。全氟环烷烃的氟碳比与全氟烯烃相同,但具有饱和性,兼有全氟烷烃与全氟烯烃的某些特性。对全氟环烷烃等离子体聚合与刻蚀的竞争历程研究尚 相似文献
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