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至今,ZAF校正计算仍然是定量X射线显微分析普遍采用的方法,而Bence-Albee方法则对矿物定量分析更为简单有效。这些方法有一个共同的特点是离不开标准样品,待测样品中有多少种元素或氧化物就需要准备多少种标 相似文献
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多层薄膜(包括一定衬底上的单层膜)X射线微区定量分析、电子束曝光技术中能量沉积的理论计算等是一类对大规模集成器件的研制和材料科学的发展具有重要意义的课题。上述研究均涉及如何描述keV电子在多层介质中散射过程。虽然不少学者提出了电子在厚块状样品中散射的物理模型,且在电子束显微分析中得到成功的应用,但电子在多层介质中散射的有关理论和计算方法则鲜见报道。 相似文献
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引言 固体中背散射电子空间密度分布及能量分布规律是从事电子显微学实验、理论研究及扫描电镜、透射电镜等电子束显微分析仪研制工作的学者十分关心的课题。由于缺乏严格的理论计算结果,一些专著只能定性给出背散射电子(BSE)、入射电子(IE)在固体中的空间图 相似文献
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作者在前文(中国科学,A辑,1986,10:1095—1103)中提出了规则形状多元组份样品X射线定量显微分析(XQMA)的理论和计算方法,为微颗粒定量奠定了基础。基于该工作,本文首次建立了任意形状超微颗粒(尺寸小于电子束最小直径的样品)XQMA计算方法,并为大量超微颗粒电子探针实验所证实。任意形状超微颗粒与纯标样i元素X射线强度比 相似文献
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蒙特卡罗方法在物理学中的应用 总被引：2，自引：0，他引：2
蒙特卡罗方法的基本思想蒙特卡罗方法是人们对随机事件的一种数学模拟方法,为了阐明蒙特卡罗方法的基本思想,先介绍一下有关随机事件和用来描述随机事件规律的一些概念。人们在科学研究过程中、生活中经常会碰到一些 相似文献
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六十年代以来,很多学者在用X射线显微分析方法测定薄膜厚度方面作了大量工作。可分为两种方法:一是经验公式法;一是用MonteCarlo模拟计算。由于电子对薄膜的透射、基底对穿透电子的背散射、膜对X射线的吸收(称 相似文献
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微颗粒体定量分析是十分重要而困难的研究课题。本文提出用Monte Carlo方法计算规则颗粒中X射线发射强度的理论,在此基础上,首次建立了严格的微颗粒X射线定量分析方法。设I_i~p、I_i~s分别为来自颗粒中i元素及纯 相似文献
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一个改进的多层介质中电子散射模型——“等效单一介质散射”计算方法 总被引：1，自引：1，他引：0
作者提出的中能电子在多层固体介质中散射的物理模型及Monte carlo模拟计算方法,在薄膜背散射电子发射、多层薄膜X射线定量分析及电子束曝光能量沉积的理论计算等方面得到较好应用。该模型基于“等步数变步长”的概念,认为人射电子从一个介质散射进入另一介质时,在新介质中的散射次数等于总散射次数N减去已发生的散射次数n。由电子在固体中等步长散射模型得新介质(严格讲应是下一介质)中电子散射平均自由程 相似文献
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用Monte Carlo计算方法来解决微颗粒X射线定量分析这一难题,已取得较大进展。但文献中均未涉及颗粒X射线吸收校正计算问题,在作定量分析时,尤其对于颗粒尺寸较大、X光光子能量较低的情况,吸收效应须充分考虑和精确计算。由于颗粒中X光光子吸收路径极不规则,这种计算几乎不可能。我们曾试图对X光光子吸收路径进行严格模拟计算,但因计 相似文献
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