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无定形硅(a-Si)在制造大面积的廉价太阳能电池方面有着光明的前景.特别是用硅烷分解的辉光放电工艺(GD),由于在工艺过程中引入了氢而降低了局域态密度,使得所制备的GDa-Si 更具有实用意义,而成为廉价太阳能电池商品生产的主要工艺.为了提高GDa-Si 太阳能电池的转换效率和降低生产成本,对其光学性质进行深入的研究是很有意义的.对于溅射工艺制备的a-Si,前人曾分别用椭圆偏振光谱法、吸收光谱法及透 相似文献
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