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离子注入机的总体设计方案可分为先加速后分析和先分析后加速两种。在电器安排方面,有的离子注入机设计为靶室接地,使离子源处于正高压;有的注入机设计为离子源接地,使靶室处于负高压;也有的注入机设计为中间的分析器接地,使离子源和靶室分别处于正负高压(这种设计较为少用)。不管采用那一种设计方法,总有一端为高压,那么这一端的电器设备就要处在高压上。我校研制的400KeV多元素离子注入机,是采取靶室接地,头部为400KV的正高压。因而,离子源电源、吸极电源、予加速电源、初 相似文献
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