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硅扩散型压力传感器件自70年代问世以来,由于它有诸多优点,受到许多技术先进国家的重视.本文着重介绍作者所做的工作,即扩散型压力敏感元器件的特点、压力效应、圆片应力分析、制造的关键工艺和敏感元器件的结构设计及其应用,并提出对今后研究发展的见解. 相似文献
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