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1.
PEMSIP法刀具TiN涂层技术
王玉魁
韩会民
王传恩
高路斯
《大连理工大学学报》
1995,(1)
PEMSIP法刀具TiN涂层技术等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSIP)TiN涂层技术是在磁控溅射离子镀(简称MSIP,中国发明专利,1988年国家发明二等奖)基础上研究出来的一种新型PVD刀具涂层技术。在MSIP设备中引进电子发射源和活化源,使其...
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