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使用扫描电子显微镜、原子力显微镜和X射线衍射研究了多孔硅薄膜的微结构.SEM图像显示:多孔硅膜表面的微结构比较均匀;沿纵向方向薄膜内部空腔呈流线型分布;孔和孔之间的间距为10~20 nm.AFM形貌表明:其表面在1×1μm范围内的均方根粗糙度为4.75 nm.XRD结果说明:多孔硅薄膜晶体晶格常数随深度增加而变大,多孔硅薄膜孔壁上Si?H键的比例将减少. 相似文献
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针对大地电磁(MT)数据具有非线性、非平稳的特征而不能满足传统功率谱方法要求的问题,从高阶统计量的理论入手,提出由信号的高阶谱恢复功率谱,再由恢复的功率谱估算MT响应函数的高阶统计量方法,建立通过高阶谱恢复功率谱的数学模型,并对合成数据和实测MT数据进行仿真分析。研究结果表明:利用高阶累积量对高斯噪声不敏感的特点,可实现在高斯白噪声和有色噪声污染下的瞬态信号频率与功率谱的正确估计;高阶统计方法消除了传统功率谱方法中大地电磁响应函数出现个别频点分散和形态异常的现象,使地质参数的估计精度和资料的可解释性得到明显提高。 相似文献
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