用于紫外曝光的大面积自动调焦系统

微米及亚微米的线条用光学法投影时，只有在调焦十分精确的情况下才可能实现，这时对于紫外投影曝光更为重要，例如波长为４０４ｎｍ，孔径为０．２８的镜头，焦深仅为±２．８微米，本文介绍的这种气动自动调焦系统其传感器的灵敏度达到每微米２５厘米水柱。在±１００微米工作范围内，自动调焦精度优于±０．２５微米（３Ｑ）。不但完全能满足各种精细光学复印术的需要，还可用于其他表面平度的非接触测量。