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1.
微机电系统(MEMS)动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位.提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法.该系统基于Mirau显微干涉技术,以时间平均干涉法实现可动微结构离面动态特性的测量.系统采用4步相移调制方法得到调制干涉条纹对比度的零级Bessel函数分布.在微谐振器件上进行的实验说明系统可以测量任意频率的离面运动,水平分辨力在微米范围内,离面探测极限在5nm左右.  相似文献   
2.
探讨了外界激振对扫描探针显微镜(SPM)扫描图像的影响,针对DI扫描探针显微镜MultiMode^TM SPM,以Tektronix任意波形发生器AWG2021驱动PC扬声器作为激振源,以SIOS微型激光干涉测振仪SP-S为测振系统,研究了0-7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明,针尖-样品副所受激振影响不同于SPM机体;0-1kHz频带内的激振影响显著,再高频段则影响甚微;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果;针尖-样品副的粘弹性模型是SPM振动影响研究的指导理论。  相似文献   
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