直流等离子体喷射镀膜设备的传热数学模型

介绍了对直流等离子体喷射镀膜设备中传热过程所进行的理论和实验研究,探讨影响上述复杂传热过程的各种因素的影响规律及各种因素之间的相互关系,以及对有效控制金刚石膜形成的影响程度。在理论研究的基础上,建立了射流温度分布以及辐射、导热及基片热平衡等５组数学模型,并进行了编程计算,计算结果与实验结果对比,证明两者吻合很好。