TSUPREM-4二维集成电路工艺仿真系统及其应用

本文介绍了当前最新版本TSUPEREM-4二维集成电路工艺仿真系统并使用该进行了杂质分凝行为等多项仿真应用，完成了对杂质分凝行为的定量分析。     

集成电路设计产业的发展

分析了当代集成电路设计领域的产生性质基础，针对我国科技发展对集成电路设计产业的技术水平和规模进程的需求，提出了加快我国集成电路设计产业发展的思路。