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一种新的含硫化合物CH3CSNH2/NH4OH溶液被用来钝化GaAs(100)表面.应用X射线光电子谱(XPS)表征了该钝化液处理的GaAs(100)表面的成键特性和电子态.结果表明,经过处理的GaAs(100)表面,能有效地消除Ga和As的氧化物,并且S既与As成键也与Ga成键,形成了S与GaAs的新界面,这标志着CH3CSNH2/NH4OH溶液对GaAs(100)表面具有明显的钝化作用.钝化表面退火处理后,As的硫化物不稳定,进一步与GaAs衬底反应,生成稳定的GaS钝化层,此种钝化液可直接应用于半导体器件钝化工艺对GaAs表面处理 相似文献
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利用同步辐射和铁磁共振研究了经硫代乙酰胺硫钝化处理的GaAs(100)表面生长的Fe,Co超薄膜与衬底的界面形成及磁性。实验结果表明,硫钝化能阻止As向Fe,Co超薄膜扩散,减弱As和Fe,Co的相互作用并增强在GaAs(100)表面生长的铁磁金属薄膜的磁性。 相似文献
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