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阚市文 《北京师范大学学报(自然科学版)》1991,27(3):291-295
探讨了离子注入中的温升问题.这种温升可用试验方法进行测量.研究了几种测温方法(例如低熔点金属法和硬度法).分析了降低注入样品温升的一些途径. 相似文献
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