科天四探针电阻仪配管安装与维修技术

针对大连理工大学国家级示范性微电子学院引进的具有全自动硅片传送系统与表征、分析系统的科天四探针电阻仪,介绍了此设备原理、技术特点及主要构成,包括硅片传输系统、测量系统、控制系统。重点给出了设备配管、安装、调试与故障维修技术,以及过程中出现的主要问题与解决方案,并展示了部分实验结果。希望为其他高校实验室引进复杂的自动化工业设备开展科学研究与实验教学提供参考。