非线性扩散

本文研究由砷在硅中非线性扩散推导出的方程。在恒定源的情况下,得到了解的解析表达式。非线性扩散呈现一个明显的分界面。在特定时刻,扩散的轮廓是抛物线,比线性情况要陡得多。扩散界面的移动速率与原始的扩散物质总量密切相关。这些特征,在恒定表面浓度的情况下,也是存在的。