微位移器在液压系统中的应用

本文提出利用压电陶瓷的逆效应制作微位移器,作为液压伺服系统的高精度、高分辨率主轴的控制信号发生器。文中将其用于测定静压轴承的动特性,获得了满意的效果。同时用于磨头的轴向伺服补偿。分辨率可达0.25μm,精度可达0.12μm,并且具有可靠的重复性精度,这就给亚微米级控制系统提供了一条可行的途径。