STM隔振系统的复模态分析

用复模态分析法求出了针对扫描隧道显微镜隔振系统的运动解和振幅传递函数的解析表达式，从该表达式可以看出，隔振系统第一级参数极大地影响着整个系统的隔振性能，然后用由本方法计算得出的三维和二维图象分析ＳＴＭ隔振系统，在悬挂弹簧加磁阻尼系统和金属块中夹橡圈系统的比较中，得出了一些有用的结论。