轮辐式三维加速度传感器弹性元件优化设计

介绍了一种新型非径向三梁轮辐式三维加速度传感器的弹性元件及其结构优化设计方法。三梁结构可提高传感器的灵敏度、标定精度，改善了径向效应。运用多变量多目标优化方法及复合形法，在保证灵敏度和固有频率这两项主要性能指标的前提下对弹性元件进行结构优化，得到应变梁截面的最佳尺寸。