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1
1.
倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用
蒋宏民
朱军
曹莹
陈翔
陈迪
《上海交通大学学报》
2010,44(8):1100-1102
采用倾斜旋转光刻的方法开展圆锥形异平面微针制备技术研究.通过改进实验室现有设备,以SU8光刻胶结构为模具,通过聚合物材料间的图形转移制备了PDMS异平面圆锥形实心微针的倾角为67°、高度为353μm的微针阵列.该方法具有低成本多材料适用的制备优势.
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