半导体CVD真空镀膜监控系统的设计

为了满足半导体产业发展的需求,本文介绍了一套基于工业PC和PLC的真空设备远程监控系统。内容包括CVD真空镀膜监控系统的工艺,结构以及工作原理,并对该控制系统的软件功能进行了描述。对该系统的监控效果进行了大量的测试。试验结果表明,人机交互性良好,性能稳定,可以精确的远程监控反应过程,并对各个被控量的信息进行实时存储、分析。有效地对现场设备进行管理,保证了系统的准确运行,提高了效率。     

基于非下采样Contourlet变换的显微图像清晰度评价算法

针对显微图像噪声多、光照不均匀的特点,文章提出了一种基于NSCT的显微图像清晰度评价算法。算法首先通过NSCT对图像进行分解,然后基于改进的拉普拉斯能量获取子带系数的能量,最终由低、高频子带系数能量的比值得到评价结果。实验结果表明,与拉普拉斯、方差及小波变换评价算法相比,该算法在保持高灵敏度的同时具有较好的抗噪性能,评价结果更为准确、稳定、可靠。