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用室温激光荧光显微技术直接观察了硅单晶中的微缺陷,获得了能与择优腐蚀相对应的微缺陷形貌图.实验表明,激光荧光显微可望发展成为一种无接触、非破坏、高灵敏的硅中微缺陷的显示技术. 相似文献
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