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作者对采用非质量分离离子束注入沉积法(IBD)在Si(100)上制备的β-FeSi2薄膜进行了研究,通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)分析表明:当退火温度在600℃和700℃附近时有利于β-FeSi2的形成。 相似文献
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基于原子力显微镜的CD/DVD表面形貌检测 总被引:1,自引:0,他引:1
利用原子力显微镜对光盘(CD)和数字通用光盘(DVD)表面结构进行三维检测,使用CSPM-2000 Imager软件计算和分析扫描得到的图像.结果显示,高存储容量的DVD光盘将取代CD光盘成为外存的主流. 相似文献
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