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对垂直单向流洁净室内的速度场进行数值模拟,计算出洁净室工作区的乱流度指标.通过分析洁净室的室宽、室高与洁净室速度场均匀性之间的关系,得出结论:洁净室的宽度尺寸是影响速度场均匀性的主要因素,当室宽小于6.0 m、室高为2.7~4.2 m时,洁净室内速度分布均匀. 相似文献
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