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超细晶粒金刚石涂层钻头的制备与实验 总被引:3,自引:0,他引:3
以钻头为例,根据其复杂形状衬底的特点,研究了一种新的化学预处理方法,并在传统化学气相沉积(CVD)工艺的基础上发展了一种新的CVD分阶段沉积法.实验以氢气和丙酮为原料,采用电子增强热丝CVD法在复杂形状硬质合金(WC-Co)钻头最外表面复合涂覆一层超细晶粒金刚石薄膜,并对碳化硅颗粒增强铝基复合材料进行了钻削实验.结果表明,所制备的超细晶粒金刚石涂层薄膜表面光滑,晶粒尺寸细小,涂层质量良好.提高和改善了涂层刀具的耐用度和切削性能. 相似文献
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以氢气和丙酮为原料,采用电子增强热丝CVD法,在硅片(100)基底上涂覆一层金刚石薄膜,在传统的硅平面加工工艺的基础上发展了一种新的在沉积好的基片上制备自支撑窗口试样的方法,并采用光刻法和湿式各向异性刻蚀技术制备得到金刚石薄膜自支撑窗口试样.研究表明,所制备的金刚石薄膜自支撑窗口的形状比较规则,膜内残留内应力小,能很好地满足鼓泡实验的要求,可以用来定量检测金刚石薄膜膜基界面结合强度和综合评价薄膜力学性能,对于促进金刚石薄膜材料在半导体器件中的应用和推广具有积极的意义. 相似文献
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中国有着“园林之母”的美称,然而桑科榕属类植物在整个植物界中有着举足轻重的地位。特别是在城市园林绿化中的作用更不可忽视,这些榕树四季常青,姿态优美,具有较高的观赏价值和良好的生态效应。 相似文献
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