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以康铜、镍不同厚度的薄膜,陶瓷Al2O3基组成微电子组件模型,在热载作用下,通过试验观察到薄膜在界面处的分层和屈曲失效。测量了分层和屈曲高度随载荷变化规律、过屈曲初始裂纹扩展。用屈曲理论和分界面能量释放率等理论进行了分析。 相似文献
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