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介绍了APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的发展过程,总结了APCVD工艺设备及参数对ZnO基TCO薄膜性能的影响.展望了APCVD法结合浮法玻璃生产工艺在线生产ZnO基TCO薄膜的产业化应用前景.  相似文献   
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