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用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO2薄膜的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
采用无机试剂(SnCl4.5H2O)为原料,用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备研制气敏传感的SnO2薄膜,研究了SnO2薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系,并且用XRD对SnO2薄膜进行分析,结果表明,掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度。 相似文献
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提拉法生长蓝宝石晶体的工艺特征及晶体质量检测 总被引:2,自引:0,他引:2
论述了蓝宝石晶体生长条件,稳定的提拉法生长工艺方法,及光学质量的测试。 相似文献
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