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LSAWs测量低介电常数介质薄膜杨氏模量的信号处理 总被引：1，自引：0，他引：1
利用脉冲激光激发超声表面波测量低介电常数介质薄膜杨氏模量时（LSAWs实验），必须对实验信号进行有效处理来拟合出表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线。设计了专用的程序滤波器对LSAWs实验中采集的原始信号进行滤波，有效抑制了信号噪声．滤波器加载的Kaiser窗降低了“吉布斯”效应的影响．对原始信号的增零处理增加了频谱的细腻程度．通过傅里叶变换获得了LSAWs实验有效信号的频谱．根据实验信号的相频特性曲线，通过最小二乘法拟合出了LSAWs实验中声表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线．实验表明，阻带噪声衰减为60dR，获得了截止频率高达120MHz的色散曲线． 相似文献
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声表面波技术可无损测量纳米多孔介电薄膜材料的机械特性参数.采用横观各向同性模型表征二维周期性多孔薄膜的结构特性,推导了表面波在周期性纳米多孔薄膜/硅基底结构中的传播模型.通过编程计算数值算例,得到了薄膜各向异性结构特性及弹性模量对表面波色散曲线的影响.结果表明,纳米通孔方向与传播方向间的角度差会对色散曲线产生明显影响,在垂直于通孔的传播方向不能测出弹性模量E′.最后给出了有助于改善测量精度的措施.此模型可用于纳米多孔低介电常数材料各向异性特性测试实验. 相似文献
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