扫描电镜中扫描透射成像装置的研制及应用

使用扫描电镜自带的背散射电子探头(BSED)作透射散射电子探测器,设计了一套适合FEI Quanta 650FEG扫描电镜使用的扫描透射(STEM)成像装置,并制定了该STEM成像装置的操作说明。以埃洛石复合ZrO₂纳米颗粒为观察对象,对自制STEM成像装置的实用性进行了验证。结果表明：STEM像衬度与背散射电子探头到样品之间的距离相关,通过调整背散射电子探头与样品之间的距离,可以实现高角环形暗场像的采集,使ZrO₂纳米颗粒的亮度明显高于埃洛石;STEM像衬度与透射电镜采集的HAADF-STEM像一致,元素分布状态也与埃洛石和ZrO₂纳米颗粒对应,表明所研制的STEM成像装置具有较好的实用性。