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高精度调相式容栅位移传感器 总被引:2,自引:0,他引:2
分析了调相式容栅位移传感器的工作原理,针对其原理非线性误差,提出了一种高精度的调相式容栅位移传感器,并对其进行了理论分析。 相似文献
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