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1.
空心热阴极离子镀氮化钛涂层技术的研究
陈宝清
朱英臣
王斐杰
王玉魁
王绍庭
《大连理工大学学报》
1983,(4)
本文主要研究钛蒸发速率的影响因素和氮分压对涂层的影响。增加坩埚处聚焦线 圈电流,蒸发速率明显提高,缩小坩埚尺寸及其传热面积也能提高蒸发速率。氮分压 是决定涂层相结构和相组成的主要因素,并影响涂层中相的相对数量,从而影响涂层 硬度和颜色。
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