微型触觉传感器敏感单元的分析和测试

对 Ｅ 型方膜结构传感器敏感单元进行了静态特性（ 变形、应力等） 和动态特性（ 固有频率、振型等） 的理论分析和有限元（ Ｆ Ｅ Ｍ） 计算．并采用自反馈光纤式麦克尔逊干涉仪测试了其动态特性参数．这一研究为微型触觉传感器敏感单元的优化设计和应用提供依据和支持     

加槽石英微天平粘度密度传感器的分析与优化

提出一种用有限元方法计算石英微天平谐振频率变化的有效方法．运用此方法分析了用加槽石英微天平分别测量液体粘度及密度的原理,解释了前人的实验结果．对影响传感器灵敏度的微槽深度、宽度、周期、微槽侧壁倾角及石英微天平的振动频率进行了分析、优化．     

谐振梁式测力传感器动态参数识别

用光通量变化法非接触地记录了小型谐振式力传感器中的谐振梁的自由响应信息,并根据多点同时采集的时间域信号,利用时间域系统识别技术,进行了结构动态参数的识别。还与全息时间平均法、声测法进行了对比。结果分析表明三种方法测量的梁的前几阶固有频率一致,振型相近,并从识别的阻尼比中计算出了谐振梁的Q值。