新型p+深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器

设计了一种新型的p+深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器,介绍了该探测器的结构、工艺及性能测试结果.探测器为灵敏面积10 mm×10 mm的单面60条探测器,p+注入条宽64 μm,栅宽96 μm,p+注入条中心下方的p+深层扩散区宽10 μm.测试内容包括该探测器的电学特性(反向漏电流、耗尽电压、条间电容、条间...