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一种弱位相差新的检测法——三缝全息干涉装置 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍一种检测光学平面度和薄膜厚度的新方法。采用单缝作等间距位移,三次曝光分别记录有位相调制(F_0缝)和无位相调制(F_1和F_2缝)的三缝频谱全息图,以细光束照明全息图的夫琅贺夫衍射谱第一级序,可重现三缝干涉图。此装置简单,分辨率达到1/400波长(λ/400)量级。 相似文献
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本实验装置有光学元件、全息图、位移机构和旋转机构等误差,经过慎重选择光路之后,系统只有位移和旋转的误差,这些误差约在λ/540——λ/900量级。 相似文献
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