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梯度过渡层对TiC薄膜中残余应力影响的研究 总被引:1,自引:1,他引:1
用平行光束掠射法(GIXD)测定了磁控溅射TiC(Al基体)膜中的残余应力,比较了不同厚度的梯度过渡层对残余应力的影响。 相似文献
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