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针对精密硅晶片在传统夹持与运送过程中存在的问题,提出了基于超声聚焦悬浮的非接触夹持方式。利用纵弯复合振动原理及自聚焦原理设计了纵弯复合超声聚焦悬浮振子,基于有限元分析方法对其进行了结构动力学仿真分析,并对超声聚焦悬浮振子样机进行了阻抗和振动测试实验研究,为实现硅晶片的非接触超声聚焦悬浮操纵和安全运送奠定了研究基础。  相似文献   
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基于一维振动理论设计了一种超声振动汽油雾化器,并使用有限元分析软件对设计的超声振动雾化器进行了仿真分析,最后对制作的超声振动雾化器样机进行了汽油雾化的实验研究,验证了该超声振动汽油雾化器的雾化效果。  相似文献   
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